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Cyber​​Optics在韩国SEMICON展会上推出WaferSense®自动电阻传感器™(ARS)

  • 2020-02-03 11:06
  • 来源:网络

  CyberOptics公司®公司(纳斯达克股票代码:CYBE),全球领先的开发商和高精度的3D传感技术解决方案供应商,将在SEMICON韩国表现出从2020年二月5-7th,在首尔,展位#C236的COEX。展会期间,该公司将推出和展示其新的WaferSense®与CyberSpectrum™软件,用于半导体生产设备的设置和诊断自动电阻传感器™(ARS)。

  带有CyberSpectrum软件的300mm自动电阻传感器(ARS)可以在半导体电化学沉积(ECD)应用中实时测量镀层电池触点的电阻。ARS使用开尔文传感(4线电阻)方法快速识别并监视周围50个独立焊盘的电阻测量值,以检测影响电镀引脚的残留物。

  半导体晶圆厂的工艺和设备工程师可以通过对随时间推移测得的平均电阻进行定量分析来预测工具何时需要维护,缩短设备维护周期,并利用类似晶片的4线电阻传感器和CyberSpectrum改善电池间的均匀性软件的客观和可重复数据。

  CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士说:“我们扩展了专有的WaferSense器件产品线,该产品线已被全球半导体工厂和设备OEM所使用,以显着提高良率和工具正常运行时间。新的ARS可以无线捕获和监控半导体工厂中电化学沉积应用的实时电阻测量。与我们的其他WaferSense设备类似,它还可以节省时间,费用并改善流程。”

  CyberOptics还将展示WaferSense自动振动和水平传感器(AVLS3)。AVLS3的厚度仅为3.5mm,可以轻松地运送到大多数晶圆运送的晶圆厂位置。化学硬化玻璃(CHG)基板可实现平滑的晶圆处理并改善真空吸盘。带有CyberSpectrum软件的AVLS3可同时收集并显示振动和水平测量数据,以快速进行设备设置,对准和实时设备诊断。


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